エバテック
| 種類 | 株式会社 |
|---|---|
| 略称 | エバテック |
| 本社所在地 |
 スイスCH-9477 Trübbach |
| 設立 | 2014年 |
| 業種 | 製造業 |
| 事業内容 | 半導体成膜装置製造販売 |
| 代表者 | Andreas Waelti (CEO) |
| 従業員数 | 280人 |
| 外部リンク | https://evatecnet.com/ |
エバテック（英: Evatec AG)は、スイスのTrübbachに本社を置く半導体装置メーカー。
概要
[編集]1946年にリヒテンシュタイン公国で設立されたバルザース社を源流とし、2015年にOC Oerlikon Holdingsの薄膜部門を継承する形で設立[1]。 同社を形容するキーワードとしてThin Film Powerhouseを掲げ、半導体前工程向けにエッチング、蒸着、スパッタ、PECVDをコアとした半導体成膜装置を製造および販売を行っている。
歴史
[編集]エバテック社は、2014 年 12 月 23 日、スイスのテクノロジーグループ企業であるエリコン（OC Oerlikon Holding AG）のアドバンストテクノロジー部門を引き継ぐ形で設立された。この移管は予定より早く完了し、同部門の 200 人の従業員とすべての資産は 2015年2月3日にエバテック社へ移管された。 2019年3月にECL（Evatec Competency Laboratory）を開設し、バッチ式、クラスター式、インライン式の真空蒸着装置、スパッタリング装置、並びに先端技術の評価を可能とする測定器類を設置し研究開発、デモンストレーション、フィールドサポートを行っている。
製品
[編集]装置ポートフォリオとして、BAK（真空蒸着装置）、MPS（縦型スパッタリング装置）、LLS（LL式縦型スパッタリング装置）、CLUSTERLINE®（枚葉スパッタリング装置）、CLUSTERLIEN®RAD（自動搬送、精密プロセスモニター機能を盛り込んだバッチ式スパッタリング装置）、SOLARIS（様々な基板に対応可能なインライン式スパッタリング装置）、HEXAGON（FOUP対応インライン式スパッタリング装置）、CLN-PNL（パネル用枚葉スパッタリング装置）を取り揃えている。
日本法人
[編集]日本には、日本法人日本エバテック株式会社がある。 エバテックの日本法人として2018年に設立され、本社を大阪に置き、日本の顧客向けの営業、サービス活動を行っている。
所在地：大阪府大阪市中央区北浜3-1-21
脚注
[編集]- ^ “Successful closing of sale process of Advanced Technologies Segment” (英語). OC Oerlikon Holdings (2015年2月3日). 2024年11月27日閲覧。