トリメチルシラン
| トリメチルシラン | |
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| 識別情報 | |
| CAS登録番号 | 993-07-7 |
| ChemSpider | 63614 |
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| 特性 | |
| 化学式 | C3H10Si |
| モル質量 | 74.2 g mol−1 |
| 密度 | 0.638 g cm-3 |
| 融点 |
-135.9 °C, 137 K, -213 °F |
| 沸点 |
6.7 °C, 280 K, 44 °F |
| 危険性 | |
| EU分類 |  F
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| NFPA 704 |
 4
2
1
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| Rフレーズ | R12, R36/37/38 |
| Sフレーズ | S9, S16, S26, S33 |
| 特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。 | |
トリメチルシラン (trimethylsilane) またはトリメチルシリルヒドリド (trimethylsilyl hydride) は、化学式がC3H10Si、構造式が(CH3)3SiHで表される化合物である。引火性が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として半導体工業で用いられる[1]。
出典
[編集]- ^ Chen, Sheng-Wen; Wang, Yu-Sheng; Hu, Shao-Yu; Lee, Wen-Hsi; Chi, Chieh-Cheng; Wang, Ying-Lang (2012). “A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films”. Materials 5 (3): 377. doi:10.3390/ma5030377.