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ハードマスク

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』

ハードマスクとは、半導体プロセスでエッチマスクとしてポリマーやその他のソフトな有機レジスト材料の代わりに用いられる材料のこと。

ポリマーは酸素フッ素塩素などの反応性ガスによって容易にエッチングされる。ポリマーマスクを用いて作られるパターンはプラズマエッチングの間で急速に劣化する。

関連項目

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